本報記者 張敏 見習(xí)記者 熊悅

    因在投資者互動平臺一則有關(guān)光刻機銷售的回復(fù)，股價昨日“20CM”直線漲停的蘇大維格，隨即在9月15日早間收到深交所下發(fā)的關(guān)注函。

    9月14日午間，蘇大維格在互動易回復(fù)投資者提問時表示“公司光刻機已實現(xiàn)向國內(nèi)龍頭芯片企業(yè)的銷售，并已實現(xiàn)向日本、韓國、以色列等國家的出口；同時，公司向國內(nèi)相關(guān)芯片光刻機廠商提供了定位光柵尺部件。”

    同時提到，“公司已關(guān)注到納米壓印光刻在集成電路和芯片制造領(lǐng)域具備替代傳統(tǒng)光刻的應(yīng)用潛力，并在積極布局”。當(dāng)日午間開盤后，公司股價大幅拉升并觸及漲停。

    貨真價實還是文字游戲？

    就此深交所發(fā)出多重提問，要求公司補充披露所生產(chǎn)光刻設(shè)備的具體類型、主要客戶及下游用途、以及最近一年一期境內(nèi)外銷售情況，核實說明公司光刻設(shè)備是否能夠直接用于芯片研發(fā)及制造、主要技術(shù)參數(shù)是否與業(yè)內(nèi)龍頭廠商存在較大差距。

    同時，就公司提到的納米壓印光刻，深交所要求公司詳細說明納米壓印技術(shù)的具體用途、研發(fā)情況，以及在集成電路領(lǐng)域的布局情況；以及公司光刻設(shè)備相關(guān)產(chǎn)品的市場占有率及占主要客戶同類產(chǎn)品采購的份額等，進一步分析說明前述產(chǎn)品對公司業(yè)績是否具有重大影響；是否存在主動迎合市場熱點炒作公司股價、配合相關(guān)股東減持的情形等。

    據(jù)公司介紹，目前大規(guī)模批量制造芯片用光刻機主要包括DUV深紫外光刻機、EUV極紫外光刻機等，這類光刻機技術(shù)工藝和材料難度極高，公司目前不涉及此類光刻機的整機制造。“目前公司對外銷售的主要是激光直寫光刻機。”公司在前述互動易回復(fù)投資者提問時表示。

    盡管公司稱，銷售的激光直寫光刻機產(chǎn)品，不同于批量制造芯片所用的DUV深紫外光刻機、EUV極紫外光刻機等，但公司進一步表示，“DUV和EUV在生產(chǎn)芯片過程中使用的掩模板，需要直寫光刻機機型進行制造，包括激光直寫光刻機和電子束光刻機。”除掩模板外，激光直寫光刻機也可廣泛用于微納光學(xué)材料、MEMS產(chǎn)品、射頻器件、濾波器件、光子芯片等制造。

    實際上，公司在2022年年報中也提到過相關(guān)光刻設(shè)備實現(xiàn)向國內(nèi)芯片企業(yè)的銷售這一情況，但其所指為“直寫光刻設(shè)備”。公司在年報中如此表示：“公司直寫光刻設(shè)備已出貨日本、韓國、以色列等國內(nèi)外知名高校和科研院所，在科研光刻設(shè)備領(lǐng)域占有一定的市場份額，并實現(xiàn)向國內(nèi)芯片企業(yè)的銷售。”

    蘇大維格還在去年年報中提到，公司能提供應(yīng)用于IC芯片投影式光刻機的核心部件定位光柵尺產(chǎn)品；此外，公司也在積極拓展投影掩模式光刻機設(shè)備在太陽能光伏電池銅電鍍方案圖形化領(lǐng)域、以及直寫光刻在芯片掩模板和IC載板等領(lǐng)域的應(yīng)用。

    資料顯示，蘇大維格研發(fā)和生產(chǎn)的高端智能裝備包括直寫光刻、3D光刻、投影/掃描光刻、納米壓印光刻設(shè)備等。

    多家上市公司回應(yīng)

    一位關(guān)注科技領(lǐng)域的專業(yè)人士告訴《證券日報》記者，最近華為新品推出后，帶動了光刻機的熱度。該公司的直寫光刻機產(chǎn)品并不完全等同于普遍認知的制造芯片的光刻機，而是芯片光刻機涉及到的部分配件要使用到該公司的相關(guān)產(chǎn)品來制造。

    近期，光刻機板塊市場熱度不減，投資者關(guān)注度較高，諸多上市公司集中回應(yīng)了投資者對光刻機相關(guān)產(chǎn)品的提問。

    威爾高于9月15日在投資者互動平臺表示，公司產(chǎn)品暫未涉及光刻機和芯片領(lǐng)域公司會持續(xù)關(guān)注該領(lǐng)域的未來發(fā)展。

    高盟新材于9月14日在投資者互動平臺表示，公司業(yè)務(wù)沒有涉及光刻機，但公司投資參股了光刻膠項目公司，其中，公司參股北京科華微電子材料有限公司比例為3.67%，參股北京鼎材科技有限公司比例為1.39%，北京科華是國內(nèi)半導(dǎo)體用光刻膠領(lǐng)域的頭部企業(yè)，北京鼎材是OLED發(fā)光材料和面板顯示光刻膠領(lǐng)域的優(yōu)秀企業(yè)。

    天瑞儀器于9月14日在投資者互動平臺表示，公司的產(chǎn)品沒有用到光刻機。此外，電科數(shù)字于9月14日在投資者互動平臺表示，公司為某半導(dǎo)體裝備生產(chǎn)商提供光刻機的控制模塊。

    IPG中國首席經(jīng)濟學(xué)家柏文喜表示，近期光刻機板塊熱度較高，但投資者需保持理性，充分了解行業(yè)和公司的情況，注重風(fēng)險控制，以長期投資的視角來進行投資決策。

（編輯 才山丹）