2018年3月13日，北方華創(chuàng)再傳捷報，由北方華創(chuàng)下屬子公司北方華創(chuàng)微電子自主開發(fā)的AlPadPVD成功進駐上海集成電路研發(fā)中心。

    北方華創(chuàng)微電子AlPadPVD設備主要應用于90-14nm技術節(jié)點的BondPad和AlInterconnect工藝，設備突破了大產能傳輸平臺、高溫靜電卡盤、先進磁控濺射源等一系列關鍵技術，解決了厚鋁粘片、晶須缺陷等世界性技術難題，設備綜合性能達到國際領先水平，得到業(yè)內廣泛認可?？蛻舯榧癓ogic、DRAM、Norflash、3DNAND、FPD等領域，并且已成為多家集成電路制造企業(yè)的Baseline設備。AlPadPVD設備良好的用戶口碑和客戶端穩(wěn)定量產的卓越表現，為其贏得了國內外知名廠商的肯定和好評。同時，該設備也憑借優(yōu)異的機臺表現和廣泛的市場認可榮獲了首屆集成電路產業(yè)聯(lián)盟創(chuàng)新獎。