本報記者 施露

    6月16日晚間，萬業(yè)企業(yè)就上交所年報問詢進(jìn)行了回復(fù)，進(jìn)一步說明公司向集成電路領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的實施情況及產(chǎn)品進(jìn)展等內(nèi)容。公告顯示，國內(nèi)一家重要的12英寸晶圓芯片制造廠與一家存儲器芯片設(shè)計制造廠已對萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通集成電路離子注入設(shè)備啟動認(rèn)證程序，萬業(yè)企業(yè)集成電路前道裝備業(yè)務(wù)獲得巨大突破。

    公告表示，鑒于目前國際形勢，芯片國產(chǎn)化需求日益迫切，在國內(nèi)集成電路制造廠盡可能采購國內(nèi)設(shè)備的背景下，凱世通的集成電路低能大束流離子注入機(jī)在國內(nèi)市場的需求正逐步放大。凱世通客戶的上游企業(yè)（國內(nèi)知名的芯片設(shè)計公司）、重要的12英寸晶圓芯片制造廠及存儲器芯片設(shè)計制造廠正在對凱世通設(shè)備進(jìn)行認(rèn)證，并盡快投入工廠端的測試驗證，助力凱世通盡快完成驗證工作。一旦驗證率先完成，將填補(bǔ)國內(nèi)前道設(shè)備空白，為公司建立起更高的技術(shù)壁壘，提升公司行業(yè)競爭力，也將提升國內(nèi)集成電路設(shè)備的國產(chǎn)化率，對國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)略發(fā)展也將有遠(yuǎn)大的意義。

    萬業(yè)企業(yè)表示，公司已明確凱世通以集成電路離子注入機(jī)為發(fā)展重心，對其在集成電路領(lǐng)域的銷售策略及生產(chǎn)安排也做了相應(yīng)的優(yōu)先調(diào)整，積極開拓其他業(yè)務(wù)合作伙伴，日前也已成功拓展臺灣主要前道設(shè)備供應(yīng)商，取得離子注入平臺業(yè)務(wù)訂單。未來有望為全球先進(jìn)制程邏輯、存儲、5G射頻、攝像頭CIS、功率半導(dǎo)體等不同應(yīng)用領(lǐng)域芯片客戶提供離子注入工藝服務(wù)，協(xié)同國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)穩(wěn)步前行。

    此外，凱世通新一代iPV6000光伏離子注入機(jī)首臺設(shè)備已在公司組裝完成初步調(diào)試即產(chǎn)品下線，目前已進(jìn)入驗證階段，在客戶工藝產(chǎn)線上進(jìn)行調(diào)試，待設(shè)備在客戶生產(chǎn)端環(huán)境下滿足客戶產(chǎn)能和質(zhì)量等多項指標(biāo)后，便可完成。目前凱世通已與一家光伏行業(yè)頭部公司簽署了試用訂單，自主研發(fā)產(chǎn)品持續(xù)得到市場有效轉(zhuǎn)化。

    萬業(yè)企業(yè)通過全資并購凱世通成為國內(nèi)唯一全領(lǐng)域離子注入機(jī)公司，產(chǎn)品覆蓋到集成電路、光伏和AMOLED領(lǐng)域等。據(jù)了解，凱世通專研的離子注入在芯片制造前道工藝中是不可或缺的工藝，并且研發(fā)出的低能大束流離子注入機(jī)更是半導(dǎo)體制造中最為核心設(shè)備之一，其開發(fā)難度僅次于光刻機(jī)，存在較高的行業(yè)競爭壁壘。因此，萬業(yè)企業(yè)在離子注入行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)具有絕對的領(lǐng)先優(yōu)勢地位。

（編輯 才山丹）